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製品の詳細
◆ こうがくてききんぞくそうけんびきょう原子間力顕微鏡と一体化した設計で、機能が強い
◆ 光学顕微鏡と原子間力顕微鏡のイメージング機能を同時に備え、両者は同時に動作することができ、互いに影響しない
◆ 光学二次元測定と原子間力顕微鏡三次元測定機能を併せ持つ
◆ レーザー検出ヘッドとサンプル走査台は一体化されており、構造が非常に安定しており、耐干渉性が強い
◆ 精密プローブ位置決め装置、レーザースポットのアライメント調整が非常に簡便
◆ 単軸駆動試料はプローブに自動的に垂直に接近し、針先を試料に垂直に走査する
◆ モータが加圧電気セラミックスの自動検出を制御するインテリジェント針送り方式、プローブ及びサンプルを保護する
◆ プローブとサンプル走査領域の正確な位置決めを実現する超高倍光学位置決めシステム
◆ 集積スキャナ非線形補正ユーザエディタ、ナノ特性化と測定精度が優れている98%
技術パラメータ
| 動作モード | 接触モード、タップモード | 光学接眼レンズ | 10X |
| オプションモード | 摩擦力/横力、振幅/位相、磁力/静電力 | しょうめいモード | LEDコラー照明システム |
| りょくスペクトルきょくせん | F-Z力曲線、RMS-Z曲線 | オプチカルフォーカス | ラフインチングマニュアルフォーカス |
| XY走査範囲 | 50×50 um、20×20 um、100×100 umを選択可能 | カメラ | 500万画素CMOSセンサ |
| Z走査範囲 | 5 um、オプション2.5 um、10 um | ディスプレイ | 10.1インチフラットパネルディスプレイ、画像測定機能付き |
| スキャン解像度 | 横0.2 nm、縦0.05 nm | そういんそくど | 0.6Hz~30Hz |
| サンプルサイズ | Φ≤68mm，H≤20mm | 走査角度 | 0~360° |
| サンプルテーブルストローク | 25×25mm | 実行環境 | Windows XP/7/8/10オペレーティングシステム |
| 光学対物レンズ | 5 X/10 X/20 X/50 X平面場複素色収差対物レンズ | 通信インタフェース | USB2.0/3.0 |
応用事例
GaNきばん/そうさはんい3µm×3µm単結晶シリコンピラミッド/そうさはんい30µm×30µm
マイクロメートルこうし/そうさはんい30µm×30µmMoTe/そうさはんい16µm×16µm
包装リスト
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